JB/T 4082-1991 濺射離子泵 技術條件

標準編號:  JB/T 4082-1991
中文標準名稱:  濺射離子泵 技術條件
代替標準號:  JB4082-85,
標準簡介:
JB/T 4082-1991  濺射離子泵  技術條件規(guī)定了普通型式濺射離子泵的技術要求、檢驗規(guī)則、試驗方法、包裝、貯存等。本標準適用于JB/T 4081所規(guī)定的二極型(L型)和三極型(3L型)的濺射離子泵(以下簡稱泵)。
中國標準分類號:  J78

標準關注次數(shù):  32次
標準上傳日期:  2010-1-4
發(fā)布日期:  91-07-22
實施日期:  92-07-01
標準類別:  機械行業(yè)標準
標準頁數(shù):  
歸口單位:  沈陽真空技術所
起草人:  馮玉國
起草單位:  機械電子工業(yè)部沈陽真空技術研究所
文件格式:  PDF格式

更多真空技術標準請查看：真空技術標準匯編

標準全文下載：

　　JB/T 4082-1991 濺射離子泵 技術條件