真空科學與技術的一些前沿課題
真空產(chǎn)品生產(chǎn)廠家、真空行業(yè)的科技工作者每時每刻都應該掌握自己工作領域內(nèi)最近、最新的學術動態(tài)，研究自己工作范圍內(nèi)的前沿課題，以便給自己定位，確定自己的對策，找出自己前進的方向，積極參加市場競爭，不斷改革創(chuàng)新，才能立于不敗之地。尤其是我國加入WTO之后，真空科技工作者的目光應該更遠大，獲取科技信息就顯得更為重要，它是企業(yè)存在的保障，是科技工作者的生命線。
1、真空泵
真空泵的種類很多，可按下表進行分類。
真空泵的前沿課題主要有：①號稱21世紀綠色真空泵的各種無油泵（干泵）的研制；②噴射泵、擴散泵的理論研究與設計計算；③探索創(chuàng)新泵的工作原理，研制新型泵。
2、真空計量
真空計量目前研究的主要內(nèi)容有：
�、僬婵斩�(全壓力)測量與校準；
�、谡婵召|譜分析，分壓力的測量與校準；
�、蹥怏w微流量(漏率)的測量與校準；
�、懿牧戏艢饴实臏y量；
�、菡婵毡贸樗贉y量。
真空計量研究的前沿課題可歸納為：
�、傺芯糠瞧胶鈶B(tài)分子流理論，非平衡態(tài)分子流校準系統(tǒng)，超音速分子流校準系統(tǒng)，為空間真空測量和校準解決難題；
�、谘芯课⑿÷饴蕼y量、校準技術；
�、垩芯拷鉀Q極高真空的測量、校準問題，尋找新的測量理論；
�、苎芯坎牧衔⒘糠艢饴蕼y量與放氣成分分析技術
�、菅芯拷鉀Q擴散泵返油率的測量問題，尋找新的測量方法。
3、真空鍍膜
真空鍍膜是真空科學技術領域中最活躍的一門應用技術，它涉及到鍍膜設備、工藝、膜材、靶材等諸多方面，薄膜的種類很多，這里只能簡單論述其中的一部分。
3.1、硬質薄膜
自然界中金剛石最硬，立方氮化硼第二，碳化硼第三。
�、俳饎偸�(CVD法生產(chǎn)): 熱絲CVD法金剛石膜沉積速率可達 2.5μm/h，HV40~50GPa；
②B4C 碳化硼：用磁控濺射法生產(chǎn)，高溫熱穩(wěn)定性好，1100℃以上，它是最硬材料，HV50.4gPa；
�、蹚秃夏ぃ篢iN-第1代；TiCN、TiAlN--第二代; 第三代是多組元復合膜和多層膜體系;TiN/TiCN、TiN/NbN、TiN/TiAlN、TiN/CrN、TaN/NbN(氮化鉭/氮化鈮)，HV55.6GPa，發(fā)展成多層納米梯度膜- TiAl、TiAl1、TiAl2、ZrN(氮化鋯)。發(fā)展方向：提高膜的韌性、耐磨性、耐熱性、耐蝕性。
3.2、金剛石涂層刀具
研究方向：①提高金剛石涂層與基體之間附著力，設計中間過渡層，開發(fā)多涂層刀具; ②增大沉積面積，提高生長速率; ③研究PVD法金剛石涂層理論和工藝。
3.3、光、電、 磁各種功能膜
這些功能膜種類繁多，性能各異，這里僅舉部分例證。
�、侔l(fā)光薄膜：Y2O3:Eu(尿素D溶液法)Eu(射頻濺射法);
②冷光膜- 可見光區(qū)高反射，紅外光區(qū)高透射，實現(xiàn)冷光照射，達到保護被照物目的;
③有機光電薄膜：金屬酞菁膜：CuPc-PbPc;CuPc/ZnS; 酞菁氧鈦具有極高光敏系數(shù);
�、芄怆姽δ軓秃夏�- Ag-Au-SiO2，Ag-BaO，Ag-SiO2,Ag-MgF2，其中Ag-MgF2納米金屬陶瓷薄膜具有光吸收特性，Ag-BaO具有光電發(fā)射特性；
�、萃该鲗щ娔ぃ篒TO(In2O3:Sn),ZAO(ZnO:Al)，IMO(In2O3:Mo);
⑥光致變色薄膜：18烷基取代螺吡喃薄膜(SP-18),在紫外光照下變色，在可見光照下恢復無色，可用于光信息存儲、光控開關等；
�、叽殴庥涗洷∧ぃ篜bFeCo(鉛鐵鈷);
�、喑笠�(guī)模集成電路(VLSI)： 在Si基片上濺射Cu或Al，實現(xiàn)多層布線;
�、岚雽w膜：SiC、ZnO；
�、馄渌怆姶诺忍匦怨δ苣ぃ�
LiF、CaF2用于平面型場發(fā)射顯示器;
Fe/Cr多層膜有巨磁電阻(GMR) ;
Fe=SiO2膜具有隧道磁電阻效應(TMR);
TiO2膜具有優(yōu)良的介電、壓電、氣敏和光催化功能;
Cu-SCN-Al(有機絡和物)有極性記憶效應;
三乙胺- 四氰-P-醌二甲烷(TEA(TCNQ)2)單晶是一種可以用來進行高密度信息存儲的有機復合材料;
YBCO屬高溫超導(HTS)膜。
3.4、裝飾膜
研究方向：①對薄膜材料的研究正向復合化、 多種類、高性能、新工藝方向發(fā)展②研究復合膜的設計、性能檢測、制備方法; ③研究薄膜應力( 牢固度) ;④研究大面積靶材制作技術，提高靶材利用率。
3.5、前沿課題
�、侔l(fā)現(xiàn)具有新特性的新的膜層材料;
�、谠O計具有特殊功能的新的膜系(復合膜);
③發(fā)展高科技產(chǎn)業(yè)，例如集成電路產(chǎn)業(yè)，信息存儲產(chǎn)業(yè)，平面顯示器產(chǎn)業(yè)，包括液晶顯示器(LCD)，等離子體顯示器(PDP)， 場致發(fā)射顯示器(EL)；
�、苌钊肽咏Y構與特性關系等理論研究。
