光導入器/電力導入器

    本節(jié)主要介紹運動以外的物理量,比如光,電磁波,電力等,從大氣中導入真空或從真空中導入大氣的方法。因為要通過大氣和真空之間的窗口,因此需要在窗口安裝相應的部品,我們稱之為導入器。根據(jù)作用不同,又可分為光導入器,電力導入器等。

１.光導入器

    能使光通過且能封閉真空的材料被稱為光導入器�？紤]到大氣壓和真空一側(cè)的差壓,1kg/cm2的壓力會產(chǎn)生在光導入器上,如果使用普通玻璃,當面積較大時,可能會發(fā)生玻璃破損的事故。現(xiàn)在用于超高真空設備的光導入器所用的材料有硬質(zhì)玻璃,藍寶石,石英等。

    這些材料對于光的透過率如圖1所示。特別是要保證紫外線的透過,而且要檢測真空內(nèi)發(fā)出的光的情況下,主要應用藍寶石窗。

２.電力導入器

    從大氣壓環(huán)境中向真空腔體內(nèi)導入電力或微小信號所用的導入器,也被稱為導入端子。絕緣部分用Al2O3,導體部分用銅的導入端子被廣泛使用。大電流導入時可達400A,微小信號時可用BNC同軸端子,多針形端子可含有48個接頭。

    導入端子的弱點在于機械強度較弱。下圖是超高真空用的代表性導入端子。

    多節(jié)點電流導入端子。大電流導入端子,高頻電流導入端子。