真空混合漏孔的檢漏方法

         真空混合漏孔,如漏孔通道內(nèi)含有空腔、毛細(xì)管道等,示漏氣體除存在超長(zhǎng)反應(yīng)時(shí)間外,還存在超長(zhǎng)的延遲時(shí)間和保持時(shí)間。只有經(jīng)該延遲時(shí)間后,檢漏儀才能探得信號(hào)。為滿足真空元件在生產(chǎn)中的快速檢漏的要求,又避免常規(guī)質(zhì)譜檢漏法漏檢混合漏孔的可能性,在真空室內(nèi)對(duì)檢漏元件集體充氦,然后在保持期內(nèi)逐個(gè)檢測(cè)氦氣濃度來(lái)判斷有無(wú)混合漏孔;也可用質(zhì)譜計(jì)比較殘余氣質(zhì)譜圖中空氣成分來(lái)確定。

        實(shí)驗(yàn)真空系統(tǒng)如圖2 所示,以分子泵為主抽泵。被檢傳感器為購(gòu)買(mǎi)的工業(yè)產(chǎn)品。截止閥關(guān)閉時(shí),電離真空計(jì)指示真空度為10-4～10-5Pa,打開(kāi)截止閥,壓強(qiáng)升高到(1～2) ×10-4Pa 。經(jīng)多次開(kāi)閉后,得到圖3所示的穩(wěn)定殘氣質(zhì)譜圖,實(shí)線為閥關(guān)閉的質(zhì)譜圖,虛線為打開(kāi)的質(zhì)譜圖。兩者的差別主要是N2(28)和O2(32),其他峰強(qiáng)度幾乎沒(méi)變,這證明被檢傳感器確實(shí)漏入了空氣。圖3中Ii為離子流,為相對(duì)值。

圖2 　實(shí)驗(yàn)真空系統(tǒng)原理圖

圖3 　殘氣質(zhì)譜圖

　　當(dāng)真空系統(tǒng)抽到10-4Pa后,關(guān)閉截止閥,用0.1Pa分辨率的薄膜真空計(jì)進(jìn)行靜態(tài)壓強(qiáng)時(shí)間曲線測(cè)定,以求得實(shí)際漏率值,該曲線如圖4 所示。圖4所示曲線基本是一條良好的直線,這也說(shuō)明是漏氣因素造成的。再仔細(xì)研究這條直線:在起始OA 段,平均漏率為1.63×10-3PaL/s ,而在終止段BC,平均值為1.42×10-3 PaL/ s。如果把被檢傳感器先處于真空狀態(tài),如隔一夜,然后再測(cè)試,則整條直線的各段斜率均接近原BC段值。