普發(fā)真空發(fā)布新款節(jié)能型干泵A 100 L ES
• 節(jié)能50%以上
• 結(jié)構(gòu)緊湊、高抽速
• 清潔制成的理想選擇
2013年1月23日 德國(guó) 阿斯拉(Asslar)- A 100 L緊湊型干泵是專為半導(dǎo)體領(lǐng)域生產(chǎn)設(shè)備靈活集成的要求而量身定制開發(fā)的一款產(chǎn)品。這款干多級(jí)羅茨泵是加載互鎖真空室(load-lock chambers)、晶片傳送室(transfer chambers )和其他無(wú)腐蝕應(yīng)用(noncorrosive applications)的清潔制成環(huán)境中的理想選擇。
盡管這款干泵結(jié)構(gòu)緊湊體積小巧，但她依然能夠帶來強(qiáng)大的抽速和高速響應(yīng)的停機(jī)時(shí)間�，F(xiàn)今，A 100 L干泵已經(jīng)廣泛應(yīng)用于全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體工廠，并且非常適用于無(wú)塵室工作室。
在A 100 L基礎(chǔ)上研發(fā)的新款A(yù) 100 L ES(ES=Energy Saving)系列經(jīng)過測(cè)試能夠節(jié)能50%以上，在低壓范圍內(nèi)其抽速表現(xiàn)依舊強(qiáng)大。并且比A 100 L具有更低的極限壓力和噪音。
一個(gè)典型的案例：300毫米制成的半導(dǎo)體工廠在加載互鎖真空室(loadlock)裝備1300臺(tái)泵，一年能夠節(jié)約10GWh以上的能源，相當(dāng)于大約36萬(wàn)歐元，5.1噸的二氧化碳排放。
此外為了節(jié)約能耗，A 100 L ES的極限壓力降低到了7x10-4 mbar(hPa)。這開創(chuàng)了在要求低壓環(huán)境下提高抽氣速度新的潛在應(yīng)用。同時(shí)泵的噪音從58 dB (A)下降到了55 dB (A)。A 100 L ES無(wú)疑填補(bǔ)了我們?cè)趌ight duty process中產(chǎn)品節(jié)能的要求，就好比我們?cè)趍edium duty process中A3P系列和harsh duty process中A3H系列一樣都能提供完美的節(jié)能產(chǎn)品。
About Pfeiffer Vacuum
Pfeiffer Vacuum-作為全球領(lǐng)先的真空技術(shù)解決方案的供應(yīng)商之一。我們不僅擁有全系列的混合軸承及全磁懸浮渦輪分子泵，同時(shí)還擁有各種旋片泵，干泵，羅茨泵，氦氣質(zhì)譜檢漏儀，真空規(guī)，四級(jí)質(zhì)譜儀等產(chǎn)品以及真空管件和綜合真空系統(tǒng)。從普發(fā)1958年發(fā)明渦輪分子泵至今，我們?cè)谌蚍治�、研發(fā)、鍍膜、太陽(yáng)能、半導(dǎo)體和其他工業(yè)領(lǐng)域，始終代表著創(chuàng)新的解決方案、高品質(zhì)、穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品和一流的服務(wù)。公司自1890年創(chuàng)立至今百余年，現(xiàn)有將近2300名員工，20多家分公司遍布全球，并且在德國(guó)、法國(guó)、羅馬尼亞、韓國(guó)設(shè)有生產(chǎn)制造基地。
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