氦氣壓縮機(jī)的泄漏對(duì)低溫泵抽氣性能的影響

(1) 氦氣壓縮機(jī)潤(rùn)滑油的泄漏故障現(xiàn)象：

       氦氣壓縮機(jī)內(nèi)部有潤(rùn)滑油泄漏故障分析和排除: 氦氣壓縮機(jī)由機(jī)械部件組成, 為了保證運(yùn)轉(zhuǎn)的正常需要對(duì)運(yùn)動(dòng)部件進(jìn)行潤(rùn)滑油潤(rùn)滑。潤(rùn)滑油會(huì)與從低溫泵中回來(lái)的氦氣混合后進(jìn)入壓縮機(jī)的泵體。通過(guò)泵體壓縮后, 出來(lái)的是高溫高壓帶有潤(rùn)滑油的氦氣。通常壓縮機(jī)漏油分兩種情況: 第一種是壓縮機(jī)經(jīng)過(guò)多年的連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)后, 密封件老化, 造成泄漏。第二種是由壓縮機(jī)的安全閥引起的。在壓縮機(jī)的管路中裝有一個(gè)黃色銅制安全閥, 當(dāng)壓縮機(jī)內(nèi)部的壓力超過(guò)一定數(shù)值時(shí), 安全閥被推開, 高壓的潤(rùn)滑油與氦氣的混合物噴出, 造成漏油。

        因此, 壓縮機(jī)的潤(rùn)滑油泄漏分為密封件老化泄漏和安全閥打開泄漏。這兩種情況都是不能完全避免的。而低溫泵系統(tǒng)通常是放在潔凈室內(nèi),不可以有任何泄漏污染工作環(huán)境。所以通常建議將低溫泵和壓縮機(jī)分開放置, 即將壓縮機(jī)放置到潔凈室的外面, 以防萬(wàn)一。

(2) 氦氣壓縮機(jī)的氦氣泄漏：

        故障現(xiàn)象: 在壓縮機(jī)經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期運(yùn)轉(zhuǎn)后, 壓縮機(jī)內(nèi)的氦氣壓力會(huì)有所降低。故障分析和排除: 這可能是由于兩種原因造成的。第一、在每次拆裝氦氣管路時(shí), 會(huì)損失一定的氦氣。氦氣管路的接頭為自密封型, 理論上每次拆裝只會(huì)有2 毫升的氦氣損耗。但實(shí)際操作時(shí), 有時(shí)會(huì)聽到漏氣的聲音, 此時(shí)就有可能泄漏較多的氦氣。這種情況只需補(bǔ)充氦氣即可。第二、氦氣系統(tǒng)泄漏。氦氣系統(tǒng)的泄漏會(huì)造成氦氣的壓力持續(xù)降低, 最終會(huì)影響低溫泵的抽氣性能。這時(shí)需要使用帶有嗅探器( Sniffer) 的氦氣檢漏儀對(duì)整個(gè)低溫泵系統(tǒng)進(jìn)行測(cè)漏。排除漏點(diǎn)后, 對(duì)壓縮機(jī)補(bǔ)充氦氣。

      因此, 為了避免氦氣的泄漏, 通常盡量避免對(duì)氦氣管路進(jìn)行頻繁拆裝。在氦氣壓縮機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)多年后, 應(yīng)對(duì)密封件進(jìn)行更換, 特別是各電磁閥處的密封墊圈。