羅茨泵機(jī)組有無旁通閥時的操作順序

2008-11-14 真空技術(shù)網(wǎng) 真空技術(shù)網(wǎng)整理

  1)羅茨泵機(jī)組中無旁通閥時,應(yīng)先開動水環(huán)泵,被抽系統(tǒng)中的氣體由羅茨泵(氣體推動羅茨泵轉(zhuǎn)子自行轉(zhuǎn)動,如同流量計一般)進(jìn)入水環(huán)泵后再排至大氣,待水環(huán)泵的吸入壓力(如串聯(lián)有大氣泵,則為大氣泵的吸入壓力)達(dá)到羅茨泵的起初規(guī)定值時(即允許排氣壓力),始啟動羅茨泵,機(jī)組正式運轉(zhuǎn),開始工作。

羅茨泵機(jī)組有旁通閥

2)羅茨泵機(jī)組中有旁通閥時,如圖5所示,先啟動水環(huán)泵,接著開動羅茨泵,此時,羅茨泵進(jìn)排氣壓差較大,旁通閥自動開啟,被抽容器中的氣體一部分經(jīng)過旁通閥進(jìn)入水環(huán)泵,另一部分在羅茨泵的作用下通過該泵也進(jìn)入水環(huán)泵,顯然抽氣速率增加,這樣很快達(dá)到羅茨泵的預(yù)真空,進(jìn)排氣壓差較小,閥門自動關(guān)閉(或人工關(guān)閉),機(jī)組正式工作。這種方法能大大縮短預(yù)抽時間,但設(shè)備較復(fù)雜。