影響羅茨泵的最大零流量壓縮比的因素

      抽氣速率、極限壓力、最大零流量壓縮比是羅茨泵的最主要的技術(shù)性能指標(biāo)。羅茨泵的前兩個性能指標(biāo)在實(shí)際應(yīng)用中往往作為選配機(jī)組時的主要參考數(shù)據(jù)。而抽氣速率與極限壓力都不能準(zhǔn)確全面地反映羅茨泵的整體技術(shù)性能,其數(shù)據(jù)往往受到前級泵和最大零流量壓縮比的影響, 最大零流量壓縮比是指在關(guān)閉進(jìn)氣管路,羅茨泵入口氣體流量為零時, 測得的泵的出口壓力與進(jìn)口壓力之比的最大值,用符號K0max 表示。它實(shí)際上反應(yīng)了羅茨泵的泄漏與返流量占到抽氣速率的比例。

      在羅茨泵最大允許壓差相同的情況下,最大零流量壓縮比的數(shù)值最能反映羅茨泵的設(shè)計與制造工藝水平。一般來說,最大零流量壓縮比K0max增加,則極限壓力PA. E下降,容積效率GM增加,有效抽速S增加。因此,在羅茨泵的設(shè)計工作中最大零流量壓縮比是必須要考慮的。下面將探討與羅茨泵的最大零流量壓縮比有關(guān)的一些問題。

零流量壓縮比K0

式中　PV ——羅茨泵出口壓力

         PA ——羅茨泵入口壓力

       S th ——羅茨泵幾何抽速

       S r——轉(zhuǎn)子返流速率

        L ——間隙流導(dǎo)

       羅茨泵零流量壓縮比K0與出口壓力PV 有關(guān)系。在較高的PV時,因間隙流導(dǎo)L處于黏滯流狀態(tài),流導(dǎo)L在這時有所增加,因而壓縮比K0在向高的PV方向上有所下降。在低的PV條件下,流導(dǎo)L處于分子流狀態(tài)基本上是定值,這時受Sr的影響。K0在向低的PV方向上也是降低的,而在PV=1hPa附近K0有最大值出現(xiàn)。泵的尺寸增加使泵的Sth比L增加得快,因此大容量的羅茨泵的K0也有所增加。

       由上可知,降低羅茨泵的間隙流導(dǎo)和轉(zhuǎn)子返流速率,不但可以提高最大零流量壓縮比,而且還能提高泵在各種出口壓力下的零流量壓縮比,使曲線K0—PV上移。