滑閥式真空泵的結構原理圖及工作原理
滑閥式油封機械泵(簡稱滑閥式真空泵或滑閥泵)同旋片泵一樣，也是一種變容式氣體傳輸泵�；y式真空泵的抽氣原理與旋片泵相似，但兩者結構不同。滑閥式真空泵是利用滑閥機構來改變吸氣腔容積的，故稱滑閥泵。
滑閥泵由于其結構特點，容量比旋片泵大得多，因此常常被用在大型真空設備上。滑閥泵有單級滑閥泵和雙級滑閥泵兩種型式。單級泵的極限真空度對小泵≤0.6Pa，對大泵≤1.3Pa(均關氣鎮(zhèn))，雙級泵的極限真空度≤0.06Pa(關氣鎮(zhèn))。抽速大于150L/s的滑閥泵多采用單級型式。這種泵可單獨使用，也可作其它泵的前級泵用。
滑閥泵的結構主要由泵體及在其內部作偏心轉動的滑閥、半圓形的滑閥導軌、排氣閥、軸等組成(見圖1)。
滑閥式真空泵的結構原理圖
泵體中裝有滑閥環(huán)(4)，滑閥環(huán)內裝有偏心輪(3)，偏心輪固定在軸(2)上，軸與泵體中心線相重合。在滑閥環(huán)上裝有長方形的滑閥桿(5)，它能在半圓形滑閥導軌(7)中上下滑動及左右擺動，因此泵腔被滑閥環(huán)和滑閥桿分隔成A、B兩室。泵在運轉過程中，由于A、B兩室容積周期性地改變，使被抽氣體不斷進入逐漸增大容積的吸氣腔;同時，在排氣腔隨著其容積的縮小而使氣體受壓縮，并通過排氣閥排出泵外。
滑閥式真空泵的工作原理
雙級型的滑閥泵，實際上是由兩個單級泵串聯(lián)起來的。它的高、低真空室在同一泵體上，有的是直接鑄成一個整體，有的是壓入中隔板把泵腔分成高、低兩室。
由于滑閥泵的旋轉質量有較大的偏心，如果滑很好的質量平衡，在運轉時會產生較大的振動。但泵旋轉質心的運動軌跡是形狀復雜的封閉曲線，因此很難實現(xiàn)對滑閥泵慣性力的完全平衡。做好滑閥的質量平衡，減少泵的振動一直是滑閥泵需要解決的一個重要課題。
