磁力傳動式真空動密封在真空應用設備上的應用實例
�、� 在各種真空鍍膜設備上用來傳遞鍍膜工件及保證膜厚均勻，而要求旋轉的工件架、軸的動力輸入等許多方面都采用磁力傳動密封裝置，不但消除了O 形密封圈易泄漏、磨損和污染真空等弊病，而且也提高了鍍膜層的質量和生產效率。
�、� 我國的重離子加速器上采用了磁力傳動裝置，在真空室中傳送試驗靶，安全可靠，保證了試驗效果，提高了試驗質量和效率。
③ 在一些高真空及超高真空的設備上廣泛采用了磁力傳動技術。比如航天技術地面模擬試驗的各種真空容器與裝置上所采用的磁力傳動裝置，操作簡單可靠，而且也保證了高真空或超高真空狀態(tài)下的各種環(huán)境試驗。
④ 在一些真空工藝設備上采用了磁力傳動裝置。作為機械手在真空室中傳遞工件、旋轉工件等。如真空熔煉爐中用磁力驅動裝置取代了送料機構的取料機構;真空熱處理爐中用磁力傳動裝置取代了送樣機構和取樣機構;真空焊接爐中用磁力傳動裝置準確地傳送構件和取送焊接件等。
�、� 一些專用的真空試驗設備中也均采用了磁力傳動技術。比如航空、航天技術設備中用精密軸承、微型軸承在高真空狀態(tài)下的壽命試驗;一些重要儀器、儀表在高真空狀態(tài)下的測試實驗等。這類專用真空設備要求連續(xù)運動的時間長，保證高真空狀態(tài)下工作。因此傳送機構及機械手均采用了磁力傳動裝置，運動安全可靠，滿足了技術要求。
�、� 磁力傳動裝置在一些特殊真空設備上的應用。我國第一臺分子束外延設備上采用了旋轉與直線運動的復合運動式磁力傳動裝置。作為機械手在真空室中傳送樣品，操作簡便、結構合理、緊湊、運動安全可靠。設備采用真空無油機組，極限真空度達到6×10-7 Pa 工作真空度達到5×10-6 Pa 樣品可進行150℃烘烤。我國生產的獨立束源，快速換片型分子束外延設備上采用了旋轉與直線運動的復合運動磁力驅動裝置。磁力傳動裝置與全金屬直通閥，組成一套超高真空室，同樣從高真空室中取出樣品或工件，并且在運作的過程中完成裝卡工件的動作。整個過程中運行安全可靠，提高工作效率近10 倍。工作室的真空度為10-6 Pa~10-7 Pa。真空室內樣品的烘烤溫度為150℃。
這里僅舉幾個應用實例，實際上無泄漏磁力傳動真空動密封的應用前景還會更加廣闊。
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