電輸入密封的設計要求與常用結(jié)構(gòu)圖

2008-10-24 劍氣書生 真空技術(shù)網(wǎng)整理

   將電輸入到真空容器中去進行供電,在各種真空設備上是經(jīng)常遇到的,對于金屬真空設備來說,這種引電裝置最好采用可拆卸的連接密封,這樣便于維修。從輸入的電流、電壓、頻率和輸電線的溫度等因素考慮,對輸電線本身及真空密封材料的設計要求是

    ①引線裝置的真空密封多采用橡膠做密封圈,因此對大電流、高溫處應采用水冷,以防止溫度過高時破壞真空橡膠圈和影響真空室的真空度。

    ②真空密封應可靠,對導電紫銅棒應當要求有較高的精度和較好的表面粗糙度,并且在裝配時應涂以真空油脂。

    ③輸電線的直徑應大小適當,不應使電流密度過大,以防輸電線過熱。

    ④由于輸電線上有一定的電壓,因此必須使它與連接密封處絕緣,特別是高壓輸電線,更不能忽視。絕緣才力哦啊的選用,應根據(jù)電壓大小,溫度的影響等因素,去考慮材料的電阻率,表面電阻率,擊穿電壓等問題。常用的絕緣材料的電阻率,表面電阻率,擊穿電壓等問題。常用的絕緣材料有真空橡膠,玻璃,陶瓷、玻璃布板、玻璃布棒、黃蠟布,聚四氟乙烯等。

    ⑤應考慮頻率的影響。在低頻下頻率對密封的影響并不大,但是在高頻下,輸電線同絕緣材料應按特殊要求確定。例如,當頻率達到108Hz以上時,用作輸電線的某些材料的電阻率可能超過允許值,如可伐合金用作高頻時,由于高頻損耗,絕緣體的密封就會被加熱到不允許的程度。因此必須降低輸電線的電阻率或采用其他材料。

    ⑥應考慮溫度的影響。對于需要烘烤的輸電線,應能承受500oC高溫。必須區(qū)別引線在烘烤時,無電流時所承受的烘烤溫度及工作時發(fā)熱的兩種情況。如果輸電線被加熱,在結(jié)構(gòu)中應避免用任何不能承受溫度的材料。    3.6.2 電輸入密封的結(jié)構(gòu)

    常用的電輸入密封結(jié)構(gòu)有如下幾種。

    ①接線柱式密封

    如圖17所示。這種結(jié)構(gòu)是一般真空設備上最常采用的把電引入到真空室中去的一種結(jié)構(gòu)。例如在真空鍍膜設備上即常常用這種結(jié)構(gòu)對鍍膜室內(nèi)的照明裝置供電。

電極引入真空室的結(jié)構(gòu)

圖17:電極引入真空室的結(jié)構(gòu)

一種外套水冷式電極密封結(jié)構(gòu)

    圖18是一種外套水冷式電極密封結(jié)構(gòu)

    ②固定式導電桿密封

    固定式導電桿密封的結(jié)構(gòu)如圖19。當導電桿直徑d≤20mm時采用(a)型,d>20mm時用(b)型。

固定式導電桿的密封結(jié)構(gòu)

圖19:固定式導電桿的密封結(jié)構(gòu)