直線驅(qū)動器的工作原理與結構示意圖

2014-10-11 郭方準 實用真空技術

　　超高真空直線驅(qū)動器的直線驅(qū)動和真空密封同樣靠波紋管來實現(xiàn)(圖1)。波紋管的兩端分別和移動法蘭與真空法蘭焊接。移動法蘭在真空一側和驅(qū)動軸連接，另一側設計成螺紋構造。移動法蘭和把手之間的螺紋構造相匹配，旋轉(zhuǎn)把手，則波紋管作直線運動，從而帶動驅(qū)動軸的直線運動。真空法蘭內(nèi)部安裝直線軸承，可實現(xiàn)驅(qū)動軸的運動準直性。直線驅(qū)動器的外筒上帶有刻度，通過把手的位置可知驅(qū)動軸的行程。

直線驅(qū)動器的示意圖

圖1 直線驅(qū)動器的示意圖

　　直線驅(qū)動器精度高，重復性強，可和直流或步進電機組合，實現(xiàn)電控操作。