真空計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)的研制與應(yīng)用
蘭州物理研究所研制了一系列真空標(biāo)準(zhǔn)裝置，可用于真空規(guī)、方向規(guī)、分壓力質(zhì)譜計(jì)、真空漏孔和正壓漏孔的校準(zhǔn)。其靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置、動(dòng)態(tài)流量法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置及超高/ 極高真空校準(zhǔn)裝置是用于真空規(guī)校準(zhǔn)的三套基礎(chǔ)標(biāo)準(zhǔn)，覆蓋的校準(zhǔn)范圍為（10-10～105）Pa ；程控式真空規(guī)校準(zhǔn)裝置適用于工業(yè)部門，其校準(zhǔn)范圍為（10-4～105）Pa；為實(shí)現(xiàn)質(zhì)譜計(jì)的校準(zhǔn)，研制了一臺(tái)具有三路相同獨(dú)立進(jìn)樣系統(tǒng)的分壓力質(zhì)譜計(jì)校準(zhǔn)裝置， 標(biāo)準(zhǔn)分壓力通過磁懸浮轉(zhuǎn)子規(guī)以兩種不同的方法進(jìn)行測(cè)量，該校準(zhǔn)裝置可實(shí)現(xiàn)（10-7～10-1）Pa 范圍內(nèi)的分壓力校準(zhǔn)；為實(shí)現(xiàn)真空漏孔的校準(zhǔn)，研制了恒壓式氣體微流量標(biāo)準(zhǔn)裝置和固定流導(dǎo)法氣體微流量標(biāo)準(zhǔn)裝置， 恒壓式氣體微流量標(biāo)準(zhǔn)裝置的校準(zhǔn)范圍為（10-8～10-2）Pa·m3/s，固定流導(dǎo)法氣體微流量標(biāo)準(zhǔn)裝置的校準(zhǔn)范圍為（10-10～10-5）Pa·m3/s ，漏孔漏率的校準(zhǔn)通過比較被校漏孔和標(biāo)準(zhǔn)氣體微流量計(jì)在一臺(tái)四極質(zhì)譜計(jì)上引起示漏氣體離子流的大小計(jì)算得到；為實(shí)現(xiàn)正壓漏孔的校準(zhǔn)，研制了一臺(tái)正壓漏孔校準(zhǔn)裝置，采用定容法和定量氣體動(dòng)態(tài)比較法對(duì)正壓漏孔進(jìn)行校準(zhǔn)，校準(zhǔn)范圍為（5×10-8～10-1）Pa·m3/s；研制了一臺(tái)定向流真空校準(zhǔn)裝置，實(shí)現(xiàn)對(duì)方向規(guī)的校準(zhǔn)和非平衡態(tài)分子流的研究，裝置的校準(zhǔn)范圍為（10-7～10-1）Pa。
真空計(jì)量學(xué)不僅是真空科學(xué)的重要組成部分, 而且也已發(fā)展成為計(jì)量學(xué)的一個(gè)新的獨(dú)立分支。國(guó)際上一些重要的國(guó)家級(jí)計(jì)量研究機(jī)構(gòu)都建立了真空計(jì)量標(biāo)準(zhǔn), 如美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院(NIST )、德國(guó)聯(lián)邦物理技術(shù)研究院(PTB)、英國(guó)國(guó)家物理實(shí)驗(yàn)室(NPL) 等, 以專門從事真空計(jì)量研究。我國(guó)的真空計(jì)量研究主要集中在國(guó)家計(jì)量科學(xué)研究院(NIM) 和蘭州物理研究所(LIP)。蘭州物理研究所經(jīng)過四十多年的努力，建立了全壓力、分壓力、氣體微流量及定向流真空校準(zhǔn)裝置，用于真空計(jì)、分壓力質(zhì)譜計(jì)、真空漏孔、正壓漏孔及方向規(guī)的校準(zhǔn)，本文將對(duì)這些真空標(biāo)準(zhǔn)裝置的研制及應(yīng)用作簡(jiǎn)要介紹。
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5、結(jié)束語
蘭州物理研究所（LIP）經(jīng)過40 多年的努力,建立了完整的真空計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)體系, 包括全壓力真空計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)、分壓力真空計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)、氣體微流量真空計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)及定向流真空校準(zhǔn)裝置，拓寬了真空計(jì)量的范圍, 擴(kuò)充了真空計(jì)量參數(shù), 提高了真空校準(zhǔn)/ 檢定的水平, 滿足了我國(guó)各個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域?qū)φ婵沼?jì)量量值準(zhǔn)確傳遞的需求。
