真空計分類
真空計種類繁多，為了研究和使用方便，合理分類是很重要的。角度不同，分類方法也不同，這里介紹兩種常用的分類法。
1、按真空計刻度方法分類
�。�1）絕對真空計：直接讀取氣體壓力，其壓力響應（刻度）可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力計確定。絕對真空計對所有氣體都是準確的且與氣體種類無關。屬于絕對真空計的有U 型管壓力計、壓縮式真空計和熱輻射真空計等。
�。�2）相對真空計：由一些與氣體壓力有函數(shù)關系的量來確定壓力，不能通過簡單的計算進行刻度，必須進行校準才能刻度。相對真空計一般由作為傳感器的真空計規(guī)管和用于控制、指示的測量器組成，讀數(shù)與氣體種類有關。相對真空計的種類很多，如熱傳導真空計和電離真空計等。
2、按真空計測量原理分類
按真空計測量原理分類，可以分成直接測量真空計和間接測量真空計。
直接測量真空計系直接測量單位面積上的力，屬于這類真空計的有：
（1）靜態(tài)液位真空計。利用U 型管兩端液面差來測量壓力。
�。�2）彈性元件真空計。利用與真空相連的容器表面上受到壓力的作用而產(chǎn)生彈性變形來測量壓力值的大小。
壓力為10-1 Pa時，作用在1cm2表面上的力只有10-5 N，顯然測量這樣小的力是困難的，但可根據(jù)低壓下與氣體壓力有關的物理量的變化來間接測量壓力的變化。屬于間接測量真空計的有：
�。�1）壓縮式真空計。其原理是在 U 型管的基礎上再應用波義耳定律，即將一定量待測壓力的氣體，經(jīng)過等溫壓縮使之壓力增大，以便用 U 型管真空計測量，然后用體積和壓力的關系計算被測壓力。
�。�2）熱傳導真空計。利用低壓下氣體熱傳導與壓力有關這一原理制成。常用的有電阻真空計和熱偶真空計。
�。�3）熱輻射真空計。利用低壓下氣體熱輻射與壓力有關的原理。
�。�4）電離真空計。利用低壓下氣體分子被荷能粒子碰撞電離，產(chǎn)生的離子流隨壓力變化的原理。如熱陰極電離真空計、冷陰極電離真空計和放射性電離真空計等。
�。�5）放電管指示器。利用氣體放電情況和放電顏色與壓力有關的性質判定真空度，一般僅能作為定性測量。
�。�6）粘滯真空計。利用低壓下氣體與容器壁的動量交換即外摩擦原理。如振膜式真空計和磁懸浮轉子真空計。
�。�7）場致顯微儀。以吸附和解吸時間與壓力的關系計算壓力。
（8）分壓力真空計。利用質譜技術進行混合氣體分壓力測量。常用的有四極質譜計、回旋質譜計和射頻質譜計等。
