真空計壓力測量范圍

　　壓力測量中，除極少數(shù)直接測量外，絕大多數(shù)是間接測量，即先在被測氣體中引起一定的物理現(xiàn)象，然后再測量這一過程中與壓力有關(guān)的物理量，進而設(shè)法確定壓力值。這是真空測量的特點，但亦會造成某些問題。

　　任何具體物理現(xiàn)象與壓力的關(guān)系，都是在某一壓力范圍內(nèi)才最顯著，超出這個范圍，關(guān)系就變?nèi)趿�。因此，任何方法都有其一定的測量范圍，這個范圍就是真空計的“量程”。盡可能擴展每一種方法的量程，是真空科學(xué)研究的重要內(nèi)容之一。近代真空技術(shù)所涉及的壓力范圍寬達20個數(shù)量級（10⁵～ 10^-14 Pa），沒有任何一種真空計能測量如此寬的壓力范圍，因此總是用幾種真空計分別管轄一定的區(qū)域。但由于各種真空計在原理上的差異，在相互銜接的區(qū)域，往往要造成較大的誤差。

　　在被測空間引起一定物理現(xiàn)象時，還會出現(xiàn)這樣的問題，即從測量的角度出發(fā)，本需要一種單純的物理現(xiàn)象，但有時卻不可避免地帶來一系列寄生現(xiàn)象，這些寄生現(xiàn)象不但給測量帶來誤差，有時還會“喧賓奪主”，完全把主要現(xiàn)象掩蓋住了。在利用電子碰撞氣體分子的方法中，荷能電子最終要打到電子收集極上，其能量急劇損失的過程會發(fā)射軟X 射線，這種射線又導(dǎo)致一些電極產(chǎn)生光電發(fā)射，最后影響到離子流的測量。電離的方法是目前高真空和超高真空測量中使用最廣泛的，可是它的寄生現(xiàn)象也特別多，它在應(yīng)用時有抽氣作用，有時又出現(xiàn)放氣作用。電子碰撞電極除產(chǎn)生上述X 射線外，還會出現(xiàn)電子碰撞脫附現(xiàn)象。有時在熱陰極電離真空計中，由于陰極處于高溫，氣體在其上發(fā)生化學(xué)變化，因而改變氣體成分。熱陰極有時會發(fā)射正離子或中性粒子，熱陰極顯然改變規(guī)管內(nèi)溫度，其輻射熱導(dǎo)致其他電極溫度升高，產(chǎn)生熱發(fā)射和變形效應(yīng)。

　　由上觀之，為改善真空計性能及提高真空測量準確度，必須突出主要現(xiàn)象，抑制寄生現(xiàn)象。表給出了一些真空計的壓力測量范圍。

一些真空計的壓力測量范圍