彈性元件真空表的結(jié)構(gòu)與工作原理

　　利用彈性元件在壓差作用下產(chǎn)生彈性變形的原理制成的真空測(cè)量?jī)x表稱為彈性元件真空表。在結(jié)構(gòu)和外形上與工業(yè)用壓力表類似，一般用于粗真空（10²～10⁵ Pa）的測(cè)量。根據(jù)變形彈性元件分類，這類真空表通常有彈簧管式、膜盒式和膜片式，其結(jié)構(gòu)如下圖所示。

　　彈簧管式真空表（如圖a所示）由連通被測(cè)真空系統(tǒng)的螺紋接頭7、單圈彈簧管4、連桿3、齒輪傳動(dòng)機(jī)構(gòu)2、指針1及外殼8等組成。測(cè)量時(shí)，彈簧管4外面為大氣壓，其內(nèi)部為被測(cè)壓力，在內(nèi)外壓差的作用下，彈簧管產(chǎn)生變形，使其末端發(fā)生位移，借助連桿3帶動(dòng)齒輪傳動(dòng)機(jī)構(gòu)2，使指針1回轉(zhuǎn)，以其在刻度盤上的位置指示被測(cè)系統(tǒng)的氣體壓力。

圖 彈性元件真空表結(jié)構(gòu)示意圖

　　膜盒式和膜片式真空表采用彈性膜盒和彈性膜片作為壓力敏感元件（即彈性變形元件），分別稱為膜盒式真空表和膜片式真空表，其結(jié)構(gòu)分別如圖b和圖c所示。膜盒5外面為大氣壓，其內(nèi)部為被測(cè)壓力；膜片6一側(cè)為大氣壓，另一側(cè)為被測(cè)壓力。在壓差作用下，膜盒或膜片產(chǎn)生變形，其中心部位發(fā)生位移，借助連桿3帶動(dòng)齒輪傳動(dòng)機(jī)構(gòu)2，使指針1回轉(zhuǎn)，以其在刻度盤上的位置指示被測(cè)壓力。

　　彈性膜盒5實(shí)質(zhì)上相當(dāng)于兩片膜片，因此真空技術(shù)網(wǎng)(http://genius-power.com/)認(rèn)為膜盒式真空表的靈敏度較高，適用于較低壓力的測(cè)量。

　　彈性元件真空表中彈性元件的常用材料有磷青銅、黃銅及不銹鋼等。為了測(cè)量含有腐蝕性氣體的系統(tǒng)壓力，可以采用不銹鋼，有時(shí)也采用石英作彈性元件。例如，很薄的石英多圈彈簧管具有較高的靈敏度，借助于光學(xué)測(cè)量機(jī)構(gòu)，能測(cè)量1Pa左右的低真空。