靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準裝置期間核查方法
靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準裝置是國防真空計量最高標(biāo)準，采用傳遞比較法對其進行期間核查。
傳遞比較法是用高一級測量標(biāo)準和被核查的標(biāo)準校準（檢定）同一臺穩(wěn)定性好的傳遞標(biāo)準或測量器具，其值分別是y0 和y，應(yīng)滿足式（1）
式中y 為被核查標(biāo)準的校準結(jié)果；y0 為測量標(biāo)準的校準結(jié)果；U 為被核查標(biāo)準的擴展不確定度；uc 為被核查標(biāo)準的合成標(biāo)準不確定度。
高一級測量標(biāo)準選用高精密活塞壓力計標(biāo)準裝置，其測量范圍為（1×102～1×104）Pa，擴展不確定度U 為0.20%～0.01%（k=2）；被核查標(biāo)準靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準裝置測量范圍為（1×10-4～1×105）Pa，擴展不確定度U為0.8%（k=2）。
電容薄膜真空計具有優(yōu)良的穩(wěn)定性和重復(fù)性，常被用作真空標(biāo)準之間的傳遞標(biāo)準。這里傳遞標(biāo)準選用美國MKS 公司生產(chǎn)的FS1.33 kPa 電容薄膜真空計，其測量范圍為（1～1×103）Pa。在（1×102～1×103）Pa 范圍，分別用高精密活塞壓力計標(biāo)準裝置和靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準裝置對FS1.33 kPa電容薄膜真空計校準，校準數(shù)據(jù)見表1 和表2。
表1 高精密活塞壓力計標(biāo)準裝置校準數(shù)據(jù)
表2 靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準裝置校準數(shù)據(jù)
注：修正因子＝標(biāo)準值÷被校值。
表1 中，用高精密活塞壓力計標(biāo)準裝置校準電容薄膜真空計的平均修正因子為1.002 1；表2 中，用靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準裝置校準的修正因子為0.998 2。根據(jù)式（1）計算二者的偏差為0.39%，小于靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準裝置的擴展不確定度0.80%，該標(biāo)準裝置技術(shù)狀態(tài)正常。
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