比較法真空規(guī)校準裝置性能研究
比較法真空規(guī)校準裝置是真空計量的主要工作標準，主標準器溯源到靜態(tài)膨脹式真空標準裝置。為了保證量值傳遞數據的準確可靠，對裝置的不確定度進行了分析和評定，同時對裝置的計量性能穩(wěn)定性和重復性進行了測試和研究。
1、引言
比較法真空規(guī)校準裝置主要用于真空量值的比較校準,是真空計量進行量傳的主要校準裝置。目前，大量的高真空計和低真空計都是通過比較法真空規(guī)校準裝置進行校準，為了保證校準數據的質量，需要對裝置的不確定度進行分析和評定。比較法真空規(guī)校準裝置的主標準器電容薄膜真空計和磁懸浮轉子真空計溯源到膨脹式一等真空標準裝置，裝置測量不確定度的評定，通過A 類和B 類評定方法進行。同時對比較法真空規(guī)校準裝置的計量性能進行深入研究，包括裝置的穩(wěn)定性和重復性的測量和驗證。
2、裝置工作原理和組成
2.1 、裝置的原理和校準方法
裝置的工作原理是將被校準的真空計與主標準器連接到裝置的校準室上，通過微調閥調節(jié)校準室中的壓力點，當校準室中的壓力達到所需的動態(tài)平衡或靜態(tài)平衡壓力時，被校真空計和主標準器同時測量校準室中的同一壓力，將測量結果進行直接比較，給出壓力示值的修正因子或校準曲線。比較法真空規(guī)校準裝置采用動態(tài)比較和靜態(tài)比較2 種方法。動態(tài)比較法的主標準器用磁懸浮轉子真空計，靜態(tài)比較法的主標準器用電容薄膜真空計。主標準器溯源到一等膨脹式真空標準裝置，校準證書給出的擴展不確定度是0.9%（k=2）。
7、結束語
通過對比較法真空規(guī)校準裝置的測量不確定度分析評定和驗證，對裝置的穩(wěn)定性和重復性等計量性能進行測試和研究。證明比較法真空規(guī)校準裝置在10-4～105 Pa 的壓力范圍內滿足開展量傳的等級關系，能夠開展各類真空計的校準工作。
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