熱電偶真空計(jì)的工作原理

2014-10-10 郭方準(zhǔn) 實(shí)用真空技術(shù)

  熱電偶真空計(jì)的構(gòu)造如圖1所示,氣體分子承擔(dān)的熱傳導(dǎo)量與壓強(qiáng)成正比是熱電偶真空計(jì)的工作原理。

熱電偶真空計(jì)的構(gòu)造圖

圖1 熱電偶真空計(jì)的構(gòu)造圖

  金屬圓筒內(nèi)部設(shè)有一根燈絲,兩端連接電極,通電后燈絲會(huì)發(fā)熱。燈絲的熱量會(huì)通過(guò)氣體分子碰撞燈絲、熱輻射和固體熱傳導(dǎo)等方式被奪走。設(shè)單位時(shí)間內(nèi)以上述三種方式奪走的熱量分別為Qg、Qr、Qs,則平衡狀態(tài)下以下公式成立:

熱電偶真空計(jì)的工作原理

  式中

  Q———單位時(shí)間燈絲放出的熱量;

  R———燈絲的電阻;

  I———燈絲的電流。

  氣體的平均自由程比燈絲的直徑大很多時(shí),Qg 通過(guò)自由分子的熱傳導(dǎo)被表示為

熱電偶真空計(jì)的工作原理

  式中

  α———適當(dāng)常數(shù);

  Λ———分子的熱傳導(dǎo)率;

  d———燈絲直徑;

  a———燈絲長(zhǎng)度;

  T———燈絲溫度;

  T0———金屬圓筒的溫度;

  p———氣體壓強(qiáng)。

  Qs 和Qr 可以分別表示為

熱電偶真空計(jì)的工作原理

  式(4-8)代表電極的熱傳導(dǎo),其中S是燈絲的斷面積,κ是固體的熱傳導(dǎo)率,L是電極的長(zhǎng)度。式(4-9)代表熱輻射,σ和ε分別是玻爾茲曼常數(shù)和固體輻射率。如果保持T和T0一定,則式(4-8)和式(4-9)為常數(shù)。如果用I20R表示一定量的固體熱傳導(dǎo)和熱輻射,則式(4-6)可以表示為

熱電偶真空計(jì)的工作原理

  I0 是燈絲的電流,不斷彌補(bǔ)固體熱傳導(dǎo)和熱輻射而帶來(lái)的熱量損失。A是不依存壓強(qiáng)的常數(shù)。如果已知燈絲的電阻R、電流I0 及常數(shù)A,則可以通過(guò)式(4-10)求得壓強(qiáng)p。

  熱電偶真空計(jì)的壓強(qiáng)測(cè)量范圍在0.1~300Pa,具有以下優(yōu)點(diǎn):

  (1)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、容易制造、容易操作;

  (2)工作溫度、工作電壓較低;

  (3)所測(cè)讀數(shù)為全壓強(qiáng),并且能夠?qū)崿F(xiàn)遠(yuǎn)距離的連續(xù)測(cè)量。

  但是,熱電偶真空計(jì)具有受溫度影響大、讀數(shù)時(shí)間滯后、讀數(shù)因氣體種類而異、讀數(shù)需要校準(zhǔn)等缺點(diǎn)。