意大利國家計量研究院(IMGC)的質(zhì)譜計校準(zhǔn)技術(shù)

　　意大利IMGC的這套質(zhì)譜計校準(zhǔn)系統(tǒng)采用比對的方法進行校準(zhǔn)，校準(zhǔn)系統(tǒng)工作原理如圖5 所示，采用四極質(zhì)譜計之間和四極質(zhì)譜計與熱陰極真空計、冷陰極真空計之間的比對進行校準(zhǔn)。從校準(zhǔn)的結(jié)果來看，實驗結(jié)果的復(fù)現(xiàn)性比較好。

　　在實驗中，真空規(guī)、四極質(zhì)譜計探頭要對稱的安裝在球形不銹鋼真空室上，這樣可以在相同的條件下測量真空容器的真空度。系統(tǒng)的極限壓力是10^-8 Pa，測量和校準(zhǔn)的范圍是1 × 10^-4 ～ 5 × 10^-7 Pa。

圖5 意大利IMGC質(zhì)譜計校準(zhǔn)系統(tǒng)原理圖

　　1. 四級質(zhì)譜計1　2. 四級質(zhì)譜計2　3. 四級質(zhì)譜計3　4. 濺射離子泵和非蒸散型吸氣劑泵　5. B - A 規(guī)　6. 電磁隔斷閥　7. 渦輪分子泵　8. 機械泵　9. 皮喇尼規(guī)　10. 真空室　11. 機械泵　12. 氣源氫氣　13. 氣源氮氣　14. 氣源甲烷　15. 氣源氬氣　16. 電磁隔斷閥

　　四極質(zhì)譜計的測量靈敏度受使用條件的影響， IMGC 認為主要是離子源剩磁的緣故，此實驗對此進行了研究，研究結(jié)果表明在比較高的壓力范圍內(nèi)( 大于5 × 10 ^-6 Pa) 剩磁現(xiàn)象對質(zhì)譜計的影響很小。系統(tǒng)的優(yōu)點在于可以一次性對多個質(zhì)譜計進行校準(zhǔn)，并且校準(zhǔn)的范圍比較寬，適用于一般質(zhì)譜計的校準(zhǔn)�？紤]到校準(zhǔn)過程中質(zhì)譜計之間可能會相互影響，不建議多個質(zhì)譜計同時進行校準(zhǔn)。