真空閥門的定義和作用

　　真空閥門是在真空系統(tǒng)中用來隔離（切斷）氣流、調(diào)節(jié)氣流流量、分配氣流的真空元件。種類繁多的真空裝置（亦稱真空工程設(shè)備）都離不開真空系統(tǒng)。真空閥門不論在簡單或復(fù)雜的真空系統(tǒng)中都占有重要的地位。

　　通常在真空系統(tǒng)設(shè)計時，要根據(jù)真空裝置的要求和真空系統(tǒng)的特點來選擇不同類型的真空閥門。例如，真空放氣閥，是用來給真空系統(tǒng)放入大氣用的。真空裝置完成真空作業(yè)后，若要更換工件或取出樣品，必須將大氣放入真空室，使真空室大門兩側(cè)沒有壓差，才能打開大門進行工件更換。而針閥是向真空系統(tǒng)中充氣，并能調(diào)節(jié)氣體流量的真空閥門。

　　真空閥門常用于真空泵抽速測量、真空鍍膜、離子束刻蝕、受控?zé)岷朔磻?yīng)裝置等真空系統(tǒng)上，提供精確調(diào)節(jié)的氣體流量，用以獲得穩(wěn)定的工藝要求的真空度；高真空擋板閥、高真空插板閥，常用于主抽氣泵的進氣口上，用來隔離真空泵，使之不暴露于大氣之中。高真空蝶閥可裝于真空室，真空管道與真空泵之間，用以接通和隔離（截止）氣流。閥門設(shè)計不應(yīng)當(dāng)漏氣、發(fā)生機械、電氣故障等。

　　需要糾正一下國內(nèi)電站閥門存在的錯誤叫法，在電站閥門中，通常將填料部分帶水封裝置的閥門前面冠以“真空”，如真空閘閥、真空截止閥等。而事實上，這些閥門的介質(zhì)壓力都很高，有的閥門壓力高達10MPa，這是一種錯誤的叫法，應(yīng)當(dāng)予以糾正。