真空擋板閥的結(jié)構(gòu)與工作原理

　　真空擋板閥的工作原理是閥板通過閥桿做上下運動而實現(xiàn)密封的。驅(qū)使閥桿運動的傳動部件有手動、手電兩動、氣動三種方式。手動傳動部件，以螺紋結(jié)構(gòu)為主，也可以采用平凸輪結(jié)構(gòu)。圖1和圖2分別為直角式、直通式真空擋板閥結(jié)構(gòu)示意圖。手動兩用的傳動部件，由電動機(jī)、蝸輪、蝸桿組成，并裝有行程開關(guān)。

　　當(dāng)接通電源后，電動機(jī)按某一方向(如開啟方向)旋轉(zhuǎn)，通過蝸輪、蝸桿帶動閥桿向上運動使閥板上升，當(dāng)閥上升到一定高度時，行程開關(guān)自動切斷電源，閥桿運動立即停止，反之亦然。手動時，松開手輪背帽，用手按一定方向轉(zhuǎn)動手輪即可，圖3為GDD型手、電兩用真空擋板閥外形圖。

　　氣動傳動部件以壓縮干燥空氣為動力，通過電磁換向閥改變氣路方向，推動汽缸活塞上下運動，帶動閥桿上下運動，使閥板開啟關(guān)閉，從而達(dá)到接通或停止氣流的目的。

圖1 直角式真空擋板閥結(jié)構(gòu)

1—導(dǎo)向槽；2—導(dǎo)向銷；3—閥桿；4—閥蓋；5—密封閥；6—閥體

圖2 直通式真空擋板閥結(jié)構(gòu)

1—手輪；2—銷；3，9—密封圈；4—法蘭套；5—波紋管；6—閥桿；7—彈簧；8—閥蓋；10—閥體

圖3 GDD型手、電兩用真空擋板閥外形圖

1—手動輪；2—減速器；3—限位開關(guān)；4—電動機(jī)；5—定位座；6—閥門；7—絲桿；8—閥蓋

　　真空擋板閥有高真空擋板閥和超高真空擋板閥兩種。高真空擋板閥用于高真空系統(tǒng)接通或截止氣流。適用壓力范圍：軸封為橡膠時為1.3×10-4～105Pa；軸封為波紋管結(jié)構(gòu)時為1.3×10-5～105Pa。工作介質(zhì)溫度：-25～80℃（密封件為丁腈橡膠）；-30～150℃(密封件為氟橡膠)。閥體材料：碳鋼鍍鎳或不銹鋼；閥板密封材料丁腈橡膠或氟橡膠。

　　超高真空擋板閥用于超高真空系統(tǒng)接通或截止氣流。適用壓力范圍為1.3×10-3～105Pa。閥門開啟狀態(tài)，烘烤溫度小于400℃；閥體材料為不銹鋼；閥板材料為無氧銅；軸封處密封件材料為不銹鋼波紋管。這兩種真空擋板閥使用的工作介質(zhì)為潔凈的空氣或?qū)﹂y門無腐蝕的干凈氣體。不適合用在對金屬有強腐蝕性和含有顆粒狀態(tài)灰塵的氣體情況下長期使用。

　　高真空擋板閥由于具有密封可靠、流導(dǎo)大、安全性好以及可手控、電控、氣控等特點，形式多樣，規(guī)格齊全，公稱尺寸DN150～1200，結(jié)構(gòu)合理等，因此，被廣泛用于大、中型多種高真空裝置的真空系統(tǒng)之中，如用于真空鍍膜設(shè)備，真空熱處理爐、真空釬焊、高真空電子束焊機(jī)、離子束刻蝕設(shè)備、空間環(huán)模設(shè)備等。