真空插板閥的結(jié)構(gòu)與工作原理

一、真空插板閥的原理、使用范圍

　　真空插板閥的工作原理是閥通過閥桿的左右或上下運(yùn)動(dòng)，將閥板與閥座壓緊實(shí)現(xiàn)密封。驅(qū)動(dòng)閥桿運(yùn)動(dòng)的方式有手動(dòng)、電動(dòng)、氣動(dòng)三種。手動(dòng)是通過手輪的旋轉(zhuǎn)，帶動(dòng)閥桿和閥桿上的螺母或四桿連動(dòng)式的閥桿使閥板運(yùn)動(dòng)。

　　手、電兩用的傳動(dòng)部件由直流電動(dòng)機(jī)、齒輪箱組成。電動(dòng)操作時(shí)，電動(dòng)機(jī)按某一方向（如關(guān)閉方向）旋轉(zhuǎn)，并通過傳動(dòng)部件使四桿連動(dòng)式的閥桿往復(fù)運(yùn)動(dòng)。當(dāng)閥板進(jìn)入與閥座密封部位時(shí)，閥板靠板式彈簧部件的作用，使閥板壓緊。

　　此時(shí)裝有行程開關(guān)而自動(dòng)切斷電源，運(yùn)動(dòng)立即停止。反之，若需打開閥門時(shí)，只需按反轉(zhuǎn)電鈕即可。手動(dòng)時(shí)，只需松開手輪背帽，按一定方向用手轉(zhuǎn)動(dòng)手輪即可。

　　圖1為CCD-A型手、電兩用的超高真空插板閥外形圖。該閥結(jié)構(gòu)合理，閥板與閥體密封時(shí)漏氣速率小于1×10-7Pa·L/s；閥門總漏氣速率小于5×10-8Pa·L/s；閥板開啟時(shí)閥體烘烤溫度小于150℃；手動(dòng)裝置允許受熱溫度小于65℃；工作穩(wěn)定可靠，操作方便；可遠(yuǎn)距離控制。氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)部件以壓縮干燥空氣為動(dòng)力，通過電磁換向閥使氣動(dòng)部件帶動(dòng)傳動(dòng)裝置，使閥門往復(fù)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)啟閉作用，達(dá)到密封的目的。

圖1 CCD-A型手、電兩用超高真空插板閥外形圖

　　真空插板閥有高真空插板閥和超高真空插板閥兩種。

　　1、高真空插板閥主要用于高真空系統(tǒng)中接通或截止氣流，可安裝在被抽真空容器（真空室）與真空泵之間；或用于在半連續(xù)真空作業(yè)的進(jìn)出料容器上。使用溫度為-20～80℃，不適用于對(duì)黑色金屬有腐蝕性或含顆粒狀物灰塵的氣體。

　　2、超高真空插板閥主要用于超高真空系統(tǒng)中接通或截止氣流。適用的介質(zhì)為潔凈的空氣或非腐蝕性氣體；適用溫度在閥門開啟時(shí)，閥體允許烘烤溫度小于150℃。

　　由于真空插板閥具有流導(dǎo)大，密封性能好，放氣率低，體積小，結(jié)構(gòu)緊湊、合理，操作方便，安裝位置可任意選擇等一系列優(yōu)點(diǎn)，因此真空插板閥廣泛用于中、大型高真空、超高真空裝置的真空系統(tǒng)中。

二、真空插板閥的形式和性能參數(shù)

　　1、高真空插板閥的形式與基本參數(shù)，已有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)（JB/T 4077—91）。該標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范的高真空插板閥的形式和基本參數(shù)，適用于1.3×10-5～1.0×105Pa真空系統(tǒng)中用來(lái)開啟或隔斷氣流的插板閥。開啟閥門時(shí)，閥板兩側(cè)的壓差應(yīng)小于或等于2.7kPa。

　　2、我國(guó)生產(chǎn)的超高真空插板閥有手動(dòng)（CC型）、氣動(dòng)（CCQ型）和電動(dòng)（CCD型）三種。

　　適用于介質(zhì)為清潔空氣及非腐蝕性氣體的超高真空系統(tǒng)中切斷或接通氣流。其中GC型系列高真空插板閥是以螺桿傳動(dòng)來(lái)推動(dòng)鋼球運(yùn)動(dòng)，撐開閥板關(guān)閉，又靠彈簧力收攏閥板打開的高真空閥門；GCQ系列以壓縮空氣為動(dòng)力推動(dòng)鋼球運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)閥門的開啟和關(guān)閉。

　　這兩種閥的材料為不銹鋼，漏氣速率不超過1.3×10-7Pa·L/s。GCD型系列閥門形式同CCD型超高真空插板閥，只是連接法蘭按高真空法蘭由刀口金屬密封結(jié)構(gòu)改為丁腈橡膠圈密封結(jié)構(gòu)；閥體閥板材料可為不銹鋼或碳鋼鍍鎳，閥板密封件材料為丁腈橡膠。適用范圍為1.3×104～105Pa。