微調閥的工作原理及結構示意圖

2014-10-10 郭方準 實用真空技術

　　微調閥的主要應用是精確控制向真空容器內導入氣體的流量。圖1所示的氣體流量微調閥，通過控制無氧銅和超硬合金接觸面的氣體導通率來控制氣體流量，信賴性高。微調閥全部由金屬構成，可以耐高溫烘烤，能直接連接在超高真空腔體上。

氣體流量微調閥的示意圖

圖1 氣體流量微調閥的示意圖