真空技術(shù)裝備國家工程實驗室

　　“真空技術(shù)裝備國家工程實驗室”建設(shè)項目于2008年11月28日得到國家發(fā)改委正式批準，是目前我國真空領(lǐng)域唯一的國家工程實驗室。該項目建設(shè)期為兩年，項目法人單位是中科院沈陽科學儀器研制中心有限公司，共建單位是北京中科科儀技術(shù)發(fā)展有限責任公司，合作單位是中國科學技術(shù)大學和東北大學。項目法人單位與共建單位、合作單位此前已有多年的合作基礎(chǔ)，有利于該項目開展。

　　工程實驗室的主要功能是：為以潔凈真空技術(shù)為基礎(chǔ)的先進真空技術(shù)裝備發(fā)展提供共性技術(shù)創(chuàng)新的中間實驗驗證平臺；成為實現(xiàn)應用基礎(chǔ)研究與產(chǎn)業(yè)化有機銜接的橋梁和紐帶。建立工程實驗室，將在國家層面上構(gòu)建真空技術(shù)裝備的技術(shù)創(chuàng)新和技術(shù)支撐體系，為集成電路、生物醫(yī)藥、高性能材料、重大科學裝置等重點產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供支撐和服務，并為真空產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供具有自主知識產(chǎn)權(quán)的長期的技術(shù)保障，滿足我國真空產(chǎn)業(yè)的長期發(fā)展以及國家戰(zhàn)略需求。

　　工程實驗室的主要任務是：通過建立超高真空、低噪聲、低污染的潔凈真空技術(shù)平臺（包括真空獲得技術(shù)與應用實驗平臺、真空應用實驗與驗證平臺、真空密封技術(shù)與應用實驗平臺3個專用子平臺和1個公共平臺），解決潔凈真空獲得、潔凈真空部件制備、潔凈真空密封等關(guān)鍵共性技術(shù)，滿足重點產(chǎn)業(yè)需求，使我國在真空領(lǐng)域有能力參與國際競爭。通過真空應用技術(shù)的突破，推進高端真空應用設(shè)備水平跨越2—3代。

 　　工程實驗室實行理事會領(lǐng)導下的實驗室主任負責制，首屆理事會理事單位包括：遼寧省發(fā)改委、沈陽市發(fā)改委、中科院計劃財務局、中科院高技術(shù)局、中科院沈陽科學儀器研制中心有限公司、北京中科科儀技術(shù)發(fā)展有限責任公司、中國科技大學、東北大學、沈陽真空技術(shù)所、北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限公司。

　　工程實驗室下設(shè)運營管理部、知識產(chǎn)權(quán)辦公室、標準化辦公室以及項目組。實驗室擁有一支實力雄厚、結(jié)構(gòu)合理、具有國際影響的研究隊伍。項目將實施創(chuàng)新、開放、共贏的產(chǎn)學研長效合作機制，加快突破重點產(chǎn)業(yè)發(fā)展的瓶頸制約。