校準氣體漏率的正壓漏孔校準裝置結(jié)構(gòu)組成
在航天產(chǎn)品研制和生產(chǎn)中，正壓檢漏技術(shù)已被廣泛地采用，最常用的是皂泡法和水泡法。由于對正壓檢漏的可靠性提出了更高的要求，需采用質(zhì)譜檢漏技術(shù)，因此要用正壓漏孔對質(zhì)譜檢漏儀進行標定，從而提出了正壓漏孔的校準問題。
國內(nèi)外對真空漏孔（漏孔的一端為大氣壓，另一端為真空）的校準技術(shù)研究得比較成熟，已經(jīng)研制了多種測量原理的校準裝置，并在不同校準裝置間進行了比對研究。對于正壓漏孔的校準，因為受到正壓檢漏定量性差和校準條件比較苛刻的限制，研究工作只是剛剛開始。
通過對各種真空漏孔和正壓漏孔校準方法的比較和分析，提出了正壓漏孔的校準方法，并利用已建的氣體微流量標準裝置和現(xiàn)有的儀器設(shè)備，對正壓漏孔的校準方法進行了實驗研究。在大量理論分析和實驗研究的基礎(chǔ)上，研制了正壓漏孔校準裝置。
正壓漏孔的校準裝置
正壓漏孔是在給定溫度和入口壓力的條件下，正壓漏孔校準裝置由定容法校準系統(tǒng)和定量氣體動態(tài)比較法校準系統(tǒng)兩部分組成，如圖1 所示。
圖中，1，2 為氣瓶；3,4,7,11,15,19,21為截上閥；5為待校漏孔；6，8，13為絕對式電容規(guī)；9為三通閥；10為標準容積；12為定容室I;14為差壓式電容規(guī)；16為針閥，12為定容室Ⅰ"；14為差壓式電容規(guī)；16為針閥，17為定容室Ⅱ；18，28為插板閥；20為小孔；22,26為冷陰極規(guī)，23為四極質(zhì)譜計；24為質(zhì)譜分析室；25為限流孔；27為抽氣室；29為濺射離子泵；30，31，33為分子泵；32，34 為機械泵。
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