真空漏孔的校準(zhǔn)方法——變?nèi)葑儔悍?/h1>

2009-07-09 孟 揚 蘭州物理研究所

　　美國Martin Marietta Energy System公司避開定容變壓法和恒壓變?nèi)莘ǖ募夹g(shù)難點，采用變?nèi)葑儔旱姆椒�，�?0^-1～10^-12mol/s范圍內(nèi)的真空漏孔進(jìn)行測量，自稱測量誤差為±5%。

　　圖4示出變?nèi)葑儔悍ńY(jié)構(gòu)示意圖，圖5給出它的測量過程中的壓力變化曲線圖。測量前，校準(zhǔn)室(V和V_u,)抽真空;開始測量時，關(guān)閉閥門Y1和Y2;在t₁時刻，V_u內(nèi)壓力上升至P₁，可由式(6)得到。關(guān)閉閥門Y3，打開閥門Y2;如果等待V_u內(nèi)壓力再次恢復(fù)至P1(t₃時刻)，則為增加固定體積的恒壓變?nèi)莘āＴ诖�，可以在t₂時刻就測量Vu內(nèi)壓力P₂的值，可由式(7)得到。真空漏孔的漏率由式(6),(7)聯(lián)立，可以得到式(8)

Q_L =p₁V_u/(RT t₁)  (6)

Q_L =P₂(V_u+V)/(R T _t2) (7)

Q_L =P₁P₂V/[RT(p₁t₂-P₂t₁)]  (8)

　　這是不很精確的，卻是效率較高的實用方法。用它校準(zhǔn)真空漏孔時，不必準(zhǔn)確測量較難測量的Vu，也不必等待較長的時間，但是式(6)和式(7)都是在無吸、放氣作用的理想條件下得到的，故實際應(yīng)用時對吸放氣的影響需要認(rèn)真研究解決。

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