“新一代靜態(tài)膨脹法真空標準裝置”獲國防技術(shù)發(fā)明二等獎

2015-08-06 510所 510所

　　靜態(tài)膨脹法真空標準裝置具有操作簡單、測量不確定度小的優(yōu)點，經(jīng)過百年的探索和研究，包括我國在內(nèi)的多個國家已將該標準作為真空計量基準器具。近年來，隨著我國在航天、高能物理、核聚變、表面科學(xué)、微電子器件等領(lǐng)域發(fā)展迅速，對超高真空精確校準提出了普遍需求，而傳統(tǒng)靜態(tài)膨脹法真空標準裝置的校準下限通常為10^-4 Pa到10^-5 Pa量級，不能實現(xiàn)對超高真空精確校準需求，需采用新技術(shù)、新方法研制新一代靜態(tài)膨脹法真空標準裝置。

　　國防科技工業(yè)真空一級計量站經(jīng)過多年技術(shù)攻關(guān)，突破了靜態(tài)膨脹法真空標準裝置校準下限的延伸、真空容器容積及容積比的精確測量、極小漏孔檢漏、真空材料除氣及出氣率測量等一系列關(guān)鍵技術(shù)。研制出了新一代靜態(tài)膨脹法真空標準裝置，校準下限比目前已報道的國際同類標準裝置的最好水平(10^-5 Pa量級)向下延伸了2個數(shù)量級，首次達到10^-7 Pa量級的超高真空范圍，實現(xiàn)了采用靜態(tài)膨脹法對超高真空規(guī)的精確校準，解決了百年來困擾校準下限延伸的國際性難題。

　　建立的新一代靜態(tài)膨脹法真空標準裝置進一步完善了我國真空標準的量傳體系，滿足了航空航天、高能加速器、核聚變、表面科學(xué)、微電子器件等領(lǐng)域?qū)Τ哒婵招实男枨�，已在重離子加速器、同步輻射光源等國家重大工程的建設(shè)中得到了應(yīng)用，并為我國的多個型號研制部門提供了大量準確的校準數(shù)據(jù)，為產(chǎn)品的安全和可靠性提供了計量保障服務(wù)。

　　研制的新一代靜態(tài)膨脹法真空標準裝置2013年獲得國防技術(shù)發(fā)明二等獎。

新一代靜態(tài)膨脹法真空標準裝置