低溫泵再生的判斷方法與條件

　　再生的起始條件因低溫泵應(yīng)用場合而異，對連續(xù)抽氣過程來說，一般只要滿足下面兩個條件中的一個，低溫泵就需要再生：

　�。�1）低溫泵在無其他附加熱負(fù)荷時，二級冷頭溫度超過20 K 或一級冷頭溫度超過130 K；

　�。�2）高真空閥門關(guān)閉5 min后泵內(nèi)壓力在1×10^-4 Pa 以上。

　　而對一些間斷抽氣過程來說，由于高真空閥門開啟時，冷頭溫度必定會產(chǎn)生波動而且冷頭溫度的恢復(fù)時間與預(yù)吸附的氣體量、低溫泵的最大吸入氣體量等有密切關(guān)系，因此在這些情況下還需要根據(jù)實際情況下允許的波動時間確定再生條件。

　　對非自動控制的低溫泵抽氣系統(tǒng)來說，一般，低溫泵的生產(chǎn)商會提供一個再生的參考時間，但由于實際情況的差異，還是要求操作者根據(jù)實際經(jīng)驗來判斷是否可以結(jié)束再生，而一些自動化程度較高的低溫泵系統(tǒng)可以自動進(jìn)行判斷。

　　一般是在再生進(jìn)行到某一階段后，將低溫泵粗抽到某一合適的壓力值，關(guān)閉粗抽閥，測量壓力上升的速率并與控制器內(nèi)存儲的經(jīng)驗值進(jìn)行對比，如果不滿足條件，則需要繼續(xù)對低溫泵進(jìn)行加熱。這一過程也可以采用一定時間之后的壓力值來判斷�？紤]到真空狀態(tài)下對放氣測量的精度要求和時間較短的要求，在1 Pa 左右進(jìn)行測試是比較合適的。對采用加熱帶加熱的再生方式，由于對泵抽空后的加熱效果不佳，因此進(jìn)行判斷的開始時間，兩次判斷的間隔時間需要根據(jù)實際情況進(jìn)行確定，采用泵內(nèi)加熱板加熱再生時無需考慮這兩個問題。