如何選配合適的前級泵和預抽泵

    (1)前級泵應保證能及時排出主泵所排出的氣體流量。

    (2)前級泵在主泵(如擴散泵、油增壓泵，分子泵和羅茨泵)出口處造成的壓強應低于主泵的最大排氣壓強。

    (3)兼作預抽泵的前級泵應滿足預抽時間的要求。

    當選用油蒸氣流泵作為主泵時，配前級泵的方法可以按經(jīng)驗標準所推薦的前級泵的大小來確定，見表4。

    所配前級泵確定之后，即可按前級泵的入口尺寸選擇前級管道閥和預抽管道閥，確定備部分連接管道的尺寸。根據(jù)以上的確定，可繪制出真空系統(tǒng)設(shè)計圖。

    分子泵作為主泵時，其抽氣能力與前級泵的抽氣能力有密切關(guān)系。分子泵的前級側(cè)需要保持分子流狀態(tài)，它才能穩(wěn)定工作。為了保證分子泵前級側(cè)處于分子流狀態(tài)，通常按式(47)選取前級泵的抽速。

    羅茨泵作為主泵時，由于羅茨泵的轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子、轉(zhuǎn)子與定子之間的間隙較大，所以它對氣體的壓縮比較小，一般其前綴泵要大些。通�？捎糜头鈾C械泵或水環(huán)泵作為羅茨泵的前級泵，前級泵的抽速可根據(jù)經(jīng)驗公式(48)選取。