真空規(guī)吸放氣特性測(cè)試研究

真空規(guī)吸放氣特性測(cè)試研究

盛學(xué)民 馮 焱 董 猛 成永軍 趙 瀾 張瑞芳

(蘭州空間技術(shù)物理研究所國(guó)防科技工業(yè)真空一級(jí)計(jì)量站 蘭州 730000)

　　摘要：利用真空材料放氣率測(cè)試裝置對(duì)各類真空規(guī)的吸放氣特性進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)測(cè)試研究，主要內(nèi)容包括：真空規(guī)吸放氣特性測(cè)試的實(shí)驗(yàn)原理及方法、實(shí)驗(yàn)過(guò)程和結(jié)果分析等。

　　在真空材料放氣率測(cè)試裝置上運(yùn)用定容法、小孔流導(dǎo)法和雙通道氣路轉(zhuǎn)換法對(duì)冷規(guī)、分離規(guī)、電容薄膜規(guī)和磁懸浮轉(zhuǎn)子規(guī)等真空測(cè)量元件的吸放氣特性進(jìn)行實(shí)驗(yàn)研究。

　　測(cè)試時(shí)系統(tǒng)經(jīng)過(guò)高溫烘烤，以減小系統(tǒng)本底放氣對(duì)真空規(guī)吸放氣測(cè)試帶來(lái)的影響;通過(guò)組合使用連接在測(cè)試系統(tǒng)上的真空規(guī)，測(cè)量系統(tǒng)的壓力變化，來(lái)研究真空規(guī)的吸放氣特性;利用真空規(guī)傳感器和管道閥門的開關(guān)等不同狀態(tài)下放氣量的差異性來(lái)測(cè)量研究各真空規(guī)的吸放氣量。

　　研究結(jié)果可對(duì)真空計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)的使用和性能研究提供借鑒和參考。