真空系統(tǒng)的主要參數(shù)選擇與計算

1、真空室(容器)的極限壓力

　　pj-—真空室所能達(dá)到的極限壓力

　　p0—真空泵的極限真空度

　　Q0—空載時，長期抽氣后真空室的氣體負(fù)荷(包括漏氣、材料表面出氣等)

　　Sp—真空室出氣口附近泵的有效抽速

　　在設(shè)計真空系統(tǒng)時，漏氣量主要由真空室的極限真空和工作壓力來確定。一般選取低于工作狀態(tài)下氣體負(fù)荷(工藝生產(chǎn)中放出的氣體量)的十分之一。

真空裝置允許漏量

2、真空室的工作壓力

　　Pg—真空室工作壓力

　　Q1—工藝生產(chǎn)過程中真空室的氣體負(fù)荷

　　從經(jīng)濟(jì)方面考慮，最好在主泵的最大抽速和最大排氣量附近選擇工作壓力。一般工作壓力選擇在高于極限壓力一個數(shù)量級。各泵最佳工作范圍請見：各種真空泵的工作范圍一文。

3、真空室抽氣口處泵的有效抽速

　　Sp—真空泵的抽速

　　U—管道流導(dǎo)

　　S—真空室抽氣口處的有效抽速

　　當(dāng)Sp為定值時，真空系統(tǒng)的有效抽速隨管道流導(dǎo)變化，如下圖。