工作用熱傳導(dǎo)真空計的現(xiàn)場計量校準(zhǔn)
1．引言
隨著我國市場經(jīng)濟的發(fā)展和不斷完善，社會改革開放的不斷深入和國際交流、貿(mào)易的不斷增多，人們對產(chǎn)品質(zhì)量的要求越來越高，如何保證產(chǎn)品質(zhì)量以滿足人們?nèi)找嫣岣叩南M要求？就企業(yè)而言除了在產(chǎn)品的設(shè)計、工藝上保證杜絕產(chǎn)品的先天不足，就是要保證本企業(yè)計量標(biāo)準(zhǔn)器具的量值的準(zhǔn)確可靠，因此計量器具的檢定、校準(zhǔn)顯得日益重要。真空計雖然不在國家依法管理的計量器具目錄（型式批準(zhǔn)部分）內(nèi)，但由于真空應(yīng)用范圍廣，如航天航空的空間模擬、電子器件、空調(diào)冷凍、汽車工業(yè)、化學(xué)工業(yè)、食品工業(yè)的真空包裝以及真空鍍膜、真空干燥、真空浸漬等等領(lǐng)域，真空都起著至關(guān)重用的作用，因此越來越多的企業(yè)都將真空計列入了本企業(yè)的質(zhì)量管理文件中，定期送來進行計量校準(zhǔn)。
2．熱傳導(dǎo)真空計計量校準(zhǔn)的問題
真空技術(shù)的壓強范圍現(xiàn)已擴展到低于大氣壓約十九個數(shù)量級，現(xiàn)在還沒有哪一種真空計可以滿足從大氣到10-14Pa 左右如此寬的測量范圍。較常用的真空計大致有壓阻真空計、熱偶真空計、電阻真空計、薄膜真空計、電離真空計、磁懸浮真空計等，其中熱偶真空計和電阻真空計在JJF1050-1996 校準(zhǔn)規(guī)范中統(tǒng)稱為熱傳導(dǎo)真空計，測量范圍為（10-1～105）Pa，電阻真空計雖然可以顯示到大氣，但其主要測量范圍在（10-1～103）Pa，進口的電阻真空計可以到104Pa，但在（104～105）Pa 范圍內(nèi)分辨率也較差。
依據(jù)JJF1050-1996校準(zhǔn)規(guī)范在對客戶送檢的熱傳導(dǎo)真空計進行計量校準(zhǔn)中，我們發(fā)現(xiàn)主要存在以下幾個問題。
a. 規(guī)管與儀表不能一一配對使用，對儀表無法真正做到有效的調(diào)整。
我們知道無論是熱偶真空計還是電阻真空計，由于儀表不是線性刻度，且規(guī)管具有一定的離散性，因此不同的規(guī)管接在同一臺儀器上，對于相同的真空它們所測出的真空度是不一樣的。熱偶真空計需要根據(jù)不同的規(guī)管調(diào)整加熱電流，電阻真空計則需要根據(jù)不同的規(guī)管調(diào)整零位和滿度，目前有些國外的真空計已經(jīng)把零位和滿度調(diào)整放在規(guī)管上，這樣也就不存在一一配對的問題，但國內(nèi)生產(chǎn)的電阻真空計基本上還是在控制儀表上調(diào)整零位和滿度，所以在其控制面板上所作的調(diào)整其實是針對具體的規(guī)管在作零位和滿度的調(diào)節(jié)。有不少的單位在送檢真空計時都不太注意到這一點，有的廠家可能因為單位里真空系統(tǒng)很多，要計量的真空計也很多，要求每一個都拆下來且一一配對工作量大，也有的廠家擔(dān)心拆裝規(guī)管會引起系統(tǒng)漏氣，或者沒有太多的悶頭以保證系統(tǒng)不暴露在大氣下，因此比較多的廠家會象征性地提供1 到2 只規(guī)管來校準(zhǔn)所有儀表，其實此時所測的數(shù)據(jù)都是這些儀表所針對這1 到2 只規(guī)管調(diào)整后所測得的真空度，至于這些儀表再接回到單位系統(tǒng)上的規(guī)管狀況如何卻不得而知。
b. 實際使用的規(guī)管與儀表之間的連接線與送檢的連接線不同。
雖然已經(jīng)有廠家生產(chǎn)出了同連接線長短無關(guān)的真空計產(chǎn)品，但是由于生產(chǎn)制造真空計廠家的技術(shù)力量不同、層次不同，使得有些真空計還是存在因連接在規(guī)管與儀表之間的連接線長短的不同，導(dǎo)致其在連接線上的信號的損失不同，從而出現(xiàn)同樣的規(guī)管配同樣的儀表，對相同的真空所測出的示值也是不一樣的。但是有些用戶不了解詳情，往往是單位現(xiàn)場規(guī)管與儀表之間的連接線可能有十幾米長，但是送檢的時候因為這些連接線埋在走線槽中拿不出來，這時他們就會拿專門配備用來送檢用的只有幾米長的接線來連接，如果此時我們根據(jù)該連線調(diào)整了儀表的零位與滿度或加熱電流，那么用戶再拿回去接原來的連接線，其實這時的儀表的零位與滿度或加熱電流已發(fā)生了變化，原先希望通過送檢達到量值的溯源就無法真正實現(xiàn)。
